半导体产业链IPO热潮下 恒运昌携核心技术冲刺科创板
国产等离子体射频电源系统打破海外数十年垄断，这家深圳企业正成为半导体国产化浪潮中的关键力量。
2025年11月14日，上海证券交易所上市审核委员会召开2025年第54次审议会议，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO顺利过会。
这意味着，又一家硬科技企业即将登陆资本市场。
恒运昌作为国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等产品的研发、生产与销售。
其成功闯关科创板，展现了在当前半导体产业链自主可控战略下，核心零部件企业正迎来前所未有的发展机遇。
01 行业瓶颈
半导体产业链国产化已进入深水区，各方力量正向上游核心零部件领域延伸。
根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。
等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、周期长。
在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶和键合等芯片制造的关键环节，等离子体工艺不可或缺，而射频电源系统正是等离子体工艺控制的核心。
长期以来，这一领域被美系两大巨头MKS和AE高度垄断，国内半导体产业长期依赖进口，供应链安全存在隐患。
02 技术突破
恒运昌成立于2013年，历经十年技术攻关，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了海外巨头长达数十年在国内的垄断格局。
公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。
在自主研发方面，恒运昌构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制等关键技术。
截至报告期末，公司拥有已授权发明专利104项，在申请发明专利138项。这些专利成为公司技术实力的硬核体现。
03 市场认可
恒运昌的技术突破已成功转化为市场认可。公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商。
根据弗若斯特沙利文统计，2024年恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额达6.1%，位列国产厂商第一。
值得注意的是，恒运昌是国内半导体领域首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。
这一市场突破不仅带来商业价值，更具备战略意义。公司产品已深度嵌入国内半导体产业链，成为保障供应链安全的重要一环。
04 财务表现
近年来，恒运昌展现出强劲的业绩增长。2022年至2024年，公司营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元，复合增长率高达84.91%。
更引人注目的是其盈利能力的提升——同期归属于母公司股东的净利润从2618.79万元增长至1.42亿元，复合增长率达131.87%。
这种高速增长态势在2025年上半年得以延续，公司实现营业收入3.04亿元，归母净利润6934.76万元。
持续的研发投入为业绩增长提供动力。2022年至2024年，公司研发投入从2154.21万元增加至5528万元，占营收比例均超10%。
05 风险挑战
恒运昌的IPO之路并非一片坦途，公司面临客户集中度高的质疑。
报告期内，公司向第一大客户拓荆科技的销售收入占比从45.23%升至63.13%，2025年上半年仍高达62.06%。
更为复杂的是，拓荆科技通过直接和间接方式合计持有恒运昌3.42%的股权，既是客户又是股东的双重角色引发关注。
此外，公司账上货币资金约4亿元，却拟募资1.69亿元用于补充流动资金，这一安排也引发市场对资金使用效率的质疑。
公司实控人乐卫平合计控制恒运昌约72.87%的股份表决权，绝对控股权虽提升决策效率，但也引发治理层面的思考。
06 上市意义
恒运昌科创板IPO的顺利过会，具有多重意义。
从募资用途看，公司拟募集资金约14.69亿元，投向沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目等。
这些项目的实施将有力扩大公司生产规模，增强研发实力，提升客户服务能力，进一步巩固和提升在全球市场的竞争力。
恒运昌成为2025年第二批被抽中现场检查企业中的首家上会企业，这表明监管层对半导体核心零部件企业的认可与支持。
恒运昌的发展路径清晰地表明，只有企业在核心技术上不断突破，才能赢得市场与未来。
随着科创板上市委审议通过，恒运昌站在了新的起点上。
截至2025年8月31日，公司在手订单规模达到1.03亿元，业绩高确定性可见一斑。
中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场预计2025-2029年复合增长率为15.6%，这片蓝海为恒运昌提供了广阔的市场空间。
放眼未来，恒运昌表示将加速国际化进程，力争在未来十年成为国际优秀的围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
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